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直流真空泵流量：(也叫抽氣速率)指在真空泵的吸氣口處，單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)的氣體體積。 常用單位是：L/Min（升/分鐘）。“流量”參數(shù)如無(wú)特別說(shuō)明，特指在20℃、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的“峰值流量”。
真空度指標(biāo)是各國(guó)生產(chǎn)商努力追求的主要指標(biāo)，它反應(yīng)了相應(yīng)的機(jī)械加工、密封技術(shù)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的整體實(shí)力。要提高真空度指標(biāo)，就必須有更高的密封條件，因此就需要采用尺寸更精確、材料性能更優(yōu)異的零部件，于是生產(chǎn)成本就大幅度提高了。而且價(jià)格的增幅遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于真空度指標(biāo)的增幅。
當(dāng)然，抽氣速率的提高也會(huì)引起價(jià)格的攀升，但其增幅不大。因此，選擇微型真空泵、微型氣體采樣泵、微型氣體循環(huán)泵、微型抽氣泵、微型抽氣打氣泵等多種微型泵時(shí)，需要認(rèn)真考慮真空度指標(biāo)、抽氣速率指標(biāo)、自己的使用情況等，這樣才能最好地兼顧使用性能和成本。
高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它對(duì)工作環(huán)境的清潔條件、溫度參數(shù)、介質(zhì)成分等均有更高的要求。例如有一種高真空度的微型真空泵VCH1028,它的真空度可以到10KPa(0.01MPa絕對(duì)壓力)，可以大致理解成能將一個(gè)密閉容器內(nèi)的氣體抽走90%，只剩下10%，在微型真空泵里就算很高的了，即使跟國(guó)外同類型的微型真空泵比也相差無(wú)幾。
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