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真空系統(tǒng)中真空泵該怎么選擇

在真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)計(jì)算中,人們把直接對(duì)真空容器進(jìn)行抽空的真空泵叫做主泵,而把維持另一個(gè)泵的前級(jí)壓力在臨界前級(jí)壓力以下的真空泵叫做前級(jí)泵。為了使被抽容器中從大氣壓力開始很快地抽到主泵能夠開始工作的壓力的真空泵,叫做預(yù)抽真空泵。對(duì)一個(gè)真空系統(tǒng)來說,常常把系統(tǒng)的前級(jí)泵兼做預(yù)抽真空泵。這里說的選泵,是指選擇主泵。關(guān)于配泵,狹義的講,是指正確地為主泵匹配好合理的前級(jí)泵,廣義而言,則包括選擇前級(jí)泵和預(yù)抽泵。真空系統(tǒng)中的核心設(shè)備是真空泵,真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中關(guān)鍵步驟是選泵與配泵。

選泵的具體內(nèi)容,就是要確定主泵的類型,決定主泵的大小。選泵的原則是工藝上可靠,經(jīng)濟(jì)上合理,技術(shù)上先進(jìn),系統(tǒng)上最優(yōu),形式上藝術(shù)。

確定主泵類型,首先要考慮的是可行可靠問題,應(yīng)該依據(jù)真空泵所要達(dá)到的極限真空度和工作真空度(選取主泵的極限真空度比真空室的極限真空度稍高),根據(jù)被抽氣體種類,每種氣體所占比例,以及氣體中夾雜灰塵等情況,選擇符合工藝要求的真泵空。當(dāng)兩種以上的不同類型泵都適合上述條件時(shí),則要根據(jù)初次投資和日常維護(hù)費(fèi)用等經(jīng)濟(jì)指標(biāo),選擇經(jīng)濟(jì)上合理的真空泵。然后,再進(jìn)一步比較環(huán)境等條件,選取最佳的。為此,必需從整套真空系統(tǒng)出發(fā),全面考慮,切不可僅僅作真空泵的比較就給予確定。

決定主泵大小,是根據(jù)真空室在工作時(shí)所需要的工作壓強(qiáng)和室內(nèi)的最大排氣量。真空室內(nèi)的工作壓強(qiáng)一定要選在主泵的最佳抽速壓強(qiáng)范圍之內(nèi)。另外,還要考慮真空室的大小和抽氣時(shí)間,因?yàn)樵诔闅鈺r(shí)間一定條件下,若真空室體積越大,則主泵的抽速也越大。

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